硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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本申请公开一种硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法，所述硅棒切磨一体机包括切割装置和研磨装置，切割装置包括第一切割单元、第一调距单元、第二切割单元、及第二调距单元，第一切割单元包括两条正交的第一切割线锯，第二切割单元包括两条正交的第二切割线锯，利用第一调距单元调整两条正交的第一切割线锯的切割位置以调整两条正交的第一切割线锯所形成的切割空间，利用第二调距单元调整两条正交的第二切割线锯的切割位置以调整两条正交的第二切割线锯所形成的切割空间，如此，基于硅棒切磨一体机，可完成硅棒的开方及研磨多工序的一体化作业，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114643648 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202011567775.9 B24B 27/00 (2006.01)