具有氮化钼层体系的基底和用于制造层体系的涂覆方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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具有氮化钼层体系的基底和用于制造层体系的涂覆方法.pdf

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因此，本发明涉及具有被设计为表面涂层的多层的层体系(2)的基底(1)，所述层体系具有包含无定形碳的外覆盖层(3)。根据本发明，在基底(1)和覆盖层(3)之间提供至少一个第一MoaNx支撑层(4)，所述支撑层(4)具有参考Mo含量a计在25原子％≤x≤55原子％的范围内的氮含量x，其中x+a＝100原子％。此外，本发明涉及用于制造基底(1)的涂覆方法。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114641588 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202080077101.2 (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公