一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质.pdf

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本发明实施例提供一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质，涉及平面度测量技术领域。其中，这种检测方法包含步骤S1至步骤S5。S1获取研磨盘的N条径向测量数据。S2分别消除N条径向测量数据的机械误差，以获得N条初始数据。S3根据N条初始数据，分别将各个磨块的高度信息均值化，并删除非磨块的高度信息，以获得N条磨块表面高度数据。S4分别缩放N条磨块表面高度数据至相同的数据长度，然后计算平均值，以获得磨盘径向高度数据。S5根据磨盘径向高度数据进行三维重构，以获得研磨盘的面型模型。采用本发明的检测

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114659474 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202210240436.2 (22)申请日 2022.03.10 (71)申请人华侨大学地址 362000 福