基于视觉预校定位的全自动晶圆劈裂设备.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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基于视觉预校定位的全自动晶圆劈裂设备.pdf

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本发明公开了基于视觉预校定位的全自动晶圆劈裂设备，包括机架大板、横梁、料仓组件、预校台组件、上相机组件、下相机组件、搬运机械手组件、劈刀组件、劈裂平台，所述机架大板的上表面一侧对称设有座体，所述横梁固定安装在两座体上，所述机架大板的一端壁设有开槽，所述料仓组件固定安装在开槽的内侧壁上，本发明利用了预校台组件的自适应调节能力，将晶圆产品左右定位至中心位置，提升了晶圆劈裂的定位加工精度，进一步提升了晶圆劈裂的加工质量，保证了加工效果；上相机组件拍摄加工晶圆产品的形状并判断加工材料是整片还是残片，保证

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114633384 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210247194.X H01L 21/78 (2006.01) (22)申请日 2022.03.