一种用于制备氮化铝预制料的坩埚装置.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种用于制备氮化铝预制料的坩埚装置.pdf

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本发明公开了一种用于制备氮化铝预制料的坩埚装置，该装置由坩埚和坩埚组件组成，坩埚由坩埚体和坩埚盖组成，坩埚体内侧表面固定有坩埚组件；所述的坩埚组件为中空两端开孔结构，上、下两端厚，中间薄。本发明通过在坩埚内壁上设置有温场统一装置坩埚组件，在用于制备氮化铝生长所用的预制料源的过程中能提供更加稳定一致的温场，从而能够使得在制备氮化铝生长所用的预制料源的过程中，获得致密度，晶体化程度，纯度不同等物理化学性质更加统一的预制料源，在晶体生长过程中，提供稳定统一的原料来源，得到质量更高的晶体，结构简单，可以

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114657634 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202210257438.2 (22)申请日 2022.03.16 (71)申请人齐鲁工业大学地址 250399