微电池器件的气密封装.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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微电池器件的气密封装.pdf

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本发明涉及微电池器件的气密封装。提供了一种制造微电池的方法。该方法包括通过在第一衬底中形成第一金属阳极过孔和第一金属阴极过孔，在第一衬底的底侧上形成第一金属层，在衬底的顶侧上形成第一电池元件，在第一电池元件周围形成包封层，在第一电池元件的不同侧上形成穿过包封层和第一衬底的沟槽，以及在沟槽中形成金属密封层以至少覆盖第一电池元件的多个侧壁表面，来形成微电池器件。金属密封层通过第一金属层和第一金属阴极过孔电连接到电池元件。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114649615 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202111473419.5 H01M 10/04 (2006.01) (22)申请日 2021.11.