空闲屏蔽件、沉积设备、沉积系统以及组装和操作的方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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空闲屏蔽件、沉积设备、沉积系统以及组装和操作的方法.pdf

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描述一种用于屏蔽具有真空腔室的沉积设备的沉积源的材料的屏蔽件。所述屏蔽件包括：框架，所述框架被配置成被安装到所述沉积设备上；屏蔽组件，所述屏蔽组件与所述框架耦接，所述屏蔽组件包括：第一侧屏蔽部分、第二侧屏蔽部分、和在所述第一侧屏蔽部分与所述第二侧屏蔽部分之间的中心屏蔽部分，所述屏蔽组件被配置成被布置在所述真空腔室的壁与所述沉积源之间，以在所述屏蔽组件的闭合位置屏蔽沉积材料；所述屏蔽件进一步包括：门布置，所述门布置被配置成移动所述屏蔽组件的至少一部分，以允许在所述屏蔽组件的打开位置接近所述沉积源。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114641589 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 201980101794.1 (51)Int.Cl.