一种厚平面靶材及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种厚平面靶材及其制备方法.pdf

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本发明涉及靶材技术领域，公开了一种厚平面靶材及其制备方法，所述制备方法为：将物料依次经过初次升温、二次升温、双向加压、研磨抛光处理后得到厚平面靶材；所述厚平面靶材的厚度大于30mm，所述物料为碲化锌或氧化镉。所述厚平面靶材的上部致密度与下部致密度之差≤0.5％。本发明制备得到的厚平面靶材，其厚度大于30mm的情况下，还能够保持靶材上部致密度与下部致密度基本接近，不会形成很大的致密度之差，使得靶材溅射效果优异。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043175 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211485126.3 (22)申请日 2022.11.24 (71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司地址