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本发明公开了一种MEMS陀螺仪,包括衬底、第一单元和第二单元,第一单元以及第二单元沿第一方向相对设置于衬底上,第一单元与第二单元通过耦合弹簧连接,衬底上还设有驱动电极以及检测电极,其中:第一单元包括沿第二方向相对设置的第一质量块和第二质量块,第一组耦合结构通过第一组弹性梁与第一质量块和第二质量块连接;第二单元包括沿第二方向相对设置的第三质量块和第四质量块,第二组耦合结构通过第二组弹性梁与第三质量块和第四质量块连接。与现有技术相比,本发明的有益效果为MEMS陀螺仪采用对称布局,便于实现差分检测以及
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114623814 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202210061281.6
(22)申请日 2022.01.19
(71)申请人 瑞声开泰科技(武汉)有限公司
地址
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