流体压力控制方法和流体控制柜.pdfVIP

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本发明的实施例提供了一种流体压力控制方法和流体控制柜,涉及自动控制技术领域。本发明实施例包括:压力传感器按照预设采样周期采样流体控制柜出口的当前出口压力;单片机计算当前出口压力和预设出口压力的压力误差;PID控制器基于压力误差计算电机转速增量;单片机根据电机转速增量计算目标电机转速;驱动电机以目标电机转速运转,以控制流体控制柜以目标出口压力输出流体。本发明实施例能够增强流体控制柜的恒压控制能力,同时也能够在变换工艺时快速调节流体控制柜的出口压力。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116048148 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211446992.1 (22)申请日 2022.11.18 (71)申请人 智涂机器人(深圳)有限公司 地址

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