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本发明公开一种电子束轨道控制系统及其调节方法,主要包括微控制器、485通讯接口、脉冲电流发生器、控制线圈,其中控制线圈安装在加速器上磁铁和下磁铁表面,线圈的半径与电子束运动轨道半径大小一致,线圈的导线宽度与电子束束流宽度一致。系统的调节方法为根据算法公式计算出电子束轨道位移变化所需的磁场变化量和脉冲电流的大小,微控制器从计算机接收控制命令,驱动脉冲电流发生器工作产生脉冲电流给控制线圈,控制线圈在脉冲电流作用下瞬间改变电子束运动轨道上的磁场分布,使电子束轨道产生位移变化。本发明可实现电子束轨道实时
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114679834 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202210337931.5
(22)申请日 2022.04.01
(71)申请人 泛华检测技术有限公司
地址 330
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