IST Innovative Sensor Technology 数据手册 流量传感器 FS5说明书.pdf

FS5 热质量流量传感器 适用于多种气体流量应用，耐温可达150 °C 优势与特点 ▪ 易于集成于多种应用与封装 ▪ 出色的重现性 ▪ 简单的信号处理 ▪ 极佳长期稳定性 ▪ 易于校准 ▪ 支持用户订制 ▪ 无移动结构 外形尺寸1) 1) 实际尺寸参见机械尺寸参数 技术参数 尺寸 (L x W x H / H2 in mm):* 6.9 x 2.4 x 0.20 / 0.60 Ø 6.0 (±0.1) mm , L = 14 (±0.2) mm (完整尺寸见应用 H 手册) 测量范围： 0 m/s to 100 m/s 响应灵敏度： 0.01 m/s 测量精度： 真实值3 %(取决于电路与校准) 响应时间 t63: ~160 ms (从 0到10000 sccm) 工作温度范围:* -20 °C to +150 °C 温度敏感度: 0.1 %/K (取决于电路设计) 连接方式:* 3 pins, AWG 30/7, 绞线,PTFE绝缘 加热器:* RH (0 °C) = 45 Ω ±1 % 参考器件:* R (0 °C) = 1200 Ω ±1 % s 电压范围(标称值):* 2 V to 5 V (at ∆ T = 30 K (0 m/s ≤ v ≤ 100 m/s) gas 加热器最大电压:* 3 V (at 0 m/s) 其他结构:* 模压塑料外壳 * 可接受客户定制 DFFS5_CN2.3.1 | Flow | Thermal Mass Flow Sensor