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- 2023-05-14 发布于四川
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本发明涉及薄膜形成方法，更详细地涉及利用表面保护物质的薄膜形成方法。根据本发明的一实施例，利用表面保护物质的薄膜形成方法包括：金属前驱体供给步骤，向放置基板的腔体内部供给金属前驱体，将金属前驱体吸附于所述基板；净化所述腔体内部的步骤；及薄膜形成步骤，向所述腔体内部供给反应物质，与被吸附的所述金属前驱体反应并形成薄膜。该方法在所述薄膜形成步骤之前，还包括：供给所述表面保护物质而吸附于所述基板的表面保护物质供给步骤；以及净化所述腔体内部的步骤。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112779520 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202011203995.3 (51)Int.Cl.
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