光阻成型设备及光阻成型方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于北京
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光阻成型设备及光阻成型方法.pdf

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本申请实施例公开了一种光阻成型设备及光阻成型方法，其中，光阻成型设备包括像素极板、喷洒装置以及控制装置。本申请的实施例通过像素极板上的各个像素电极吸附光阻液滴，使得光阻液滴按照其预设图案吸附在衬底上，无需曝光显影操作，简化了加工工艺，同时不会有光阻材料因为刻蚀显影而被浪费，提高了材料的利用率，在一定程度上克服了现有技术中存在的光阻成型工艺复杂且存在浪费的问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690565 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202210290770.9 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人 TCL华星光电技术有限公司地址