一种基于单分子微阵列芯片基片的盲孔状微孔制作方法.pdfVIP

一种基于单分子微阵列芯片基片的盲孔状微孔制作方法.pdf

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一种基于单分子微阵列芯片基片的盲孔状微孔制作方法,以单分子检测芯片上所需盲孔状微孔的深度为界线,对的盲孔状微孔进行拆解,将盲孔状微孔的整体分成两部分;一部分为微孔部分基体,另一部分为底层部分基体,其中微孔部分基体上有单分子检测所需的通孔状微孔阵列;先分别制作好微孔部分基体和底层部分基体,在微孔部分基体上加工好所需大小的微孔通孔,再将微孔部分基体和底层部分基体复合在一起,形成带有盲孔状微孔的单分子检测芯片基片。本发明将单分子检测芯片基片的盲孔状微孔拆解成两部分,分别制作微孔部分基体和底层部分基体,

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114684782 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202210324271.7 (22)申请日 2022.03.30 (71)申请人 湖南超亟检测技术有限责任公司 地址

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