反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法.pdf

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本发明涉及反射镜加工领域。反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法，包括如下步骤：步骤一，粗加工；步骤二，清洁反光镜的表面并保存；步骤三，清洁真空镀膜机；步骤四，将纯度大于99.99％镍和纯度大于99.99％磷分别放入两个不同的坩埚；步骤五，把反射镜悬挂在真空镀膜机内，坩埚摆放在电子束蒸发器上；抽真空并用电子束蒸发器对坩埚进行加热，摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为400毫安，摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为200毫安；且摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器与摆放有磷的坩埚下方的电子

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116103616 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202211639123.0 (22)申请日 2022.12.20 (71)申请人上海现代先进超精密制造中心有限