一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于北京
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一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法.pdf

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本发明提供了一种晶圆组芯片潜在失效筛选方法，针对晶圆组N片晶圆所有芯片，使用ASCII编码字符标记有效芯片和失效芯片，为晶圆组N片晶圆中每个芯片创建芯片坐标，汇总全部芯片坐标，统计晶圆组同一横向坐标下失效芯片数与晶圆组晶圆片数量N的百分比，实现对晶圆组N片晶圆下具有集中失效芯片趋势特征区域的转置处理，提高识别失效芯片的效率和整体芯片产品的可靠性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114678284 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202011552255.0 (22)申请日 2020.12.24 (71)申请人紫光同芯微电子有限公司地址 10