移动机构及其驱动方法、驱动装置、电子设备和成像装置.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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移动机构及其驱动方法、驱动装置、电子设备和成像装置.pdf

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一种移动机构及其驱动方法、电子设备和成像装置，所述移动机构，包括：基底；位于所述基底上的多个步进结构，所述步进结构包括：扭转机构，所述扭转机构包括：沿垂直于基底方向延伸的扭杆；位于所述扭杆底部的扭转可动电极；驱动所述扭转可动电极转动并带动扭杆摆动的扭转驱动电极；吸盘，位于所述扭转机构上，所述吸盘的底部设置有凹槽，用于容纳所述扭杆顶部，在扭杆摆动时产生移动；位于所述多个步进结构上的可移动载板，在所述吸盘的静电吸合作用下移动。本发明实施例中的方案，可以减少移动机构出现机械性卡死的问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114697475 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011567622.4 (22)申请日 2020.12.25 (71)申请人中芯集成电路（宁波）有限公司地址