一种密封机构及晶圆反应设备.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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一种密封机构及晶圆反应设备.pdf

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本发明公开了一种密封机构及晶圆反应设备，涉及半导体技术领域。该密封机构包括门体、机架、密封组件、弹性件、丝杆、驱动组件及检测装置，门体上贯穿设置有开口，弹性件、驱动组件及检测装置均设置于机架上，密封组件通过滚珠与丝杆配合，丝杆上设置有止挡件，弹性件用于正向抵持止挡件，驱动组件与丝杆传动连接，用于驱动丝杆转动，以带动密封组件正向运动至与门体贴合以封闭开口，驱动组件还用于在密封组件与门体贴合的情况下驱动丝杆继续转动，以使丝杆带动止挡件反向运动并压缩弹性件，检测装置用于检测丝杆的位置，驱动组件还用于在

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114658863 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202210531989.3 F16K 1/44 (2006.01)