曝光工具及使用曝光工具的方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于北京
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曝光工具及使用曝光工具的方法.pdf

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本文描述的一些实施方式提供了一种曝光工具及使用曝光工具的方法。该曝光工具包括遮罩变形侦测器及一或多个处理器，该一或多个处理器用以在扫描晶圆的多个场的扫描制程期间经由遮罩变形侦测器获取与遮罩相关联的遮罩变形信息。一或多个处理器在扫描制程期间基于遮罩变形信息多次判定遮罩的变形，且在扫描制程期间基于遮罩的变形多次执行对曝光工具的一或多个组件的一或多次调整。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690586 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202210073918.3 (22)申请日 2022.01.21 (30)优先权数据 63/200,418 2021