一种基于厚Si3N4材料的低插入损耗、大带宽紧凑型多模干涉耦合器.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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一种基于厚Si3N4材料的低插入损耗、大带宽紧凑型多模干涉耦合器.pdf

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本发明公开了一种基于厚Si3N4材料的低插入损耗、大带宽紧凑型多模干涉耦合器，包括基于厚Si3N4材料的单条形锥形渐变输入波导、多模干涉区域、锥形渐变输出波导。本发明可实现入射光由一端口分配到两个输出波导，形成一分二功分器或二合一耦合器，适用于微波光子滤波与整形、双光梳技术、光学相干断层扫描技术、光通讯收发模块、光计算等氮化硅集成光路光学器件系统中，具有尺寸紧凑、耦合效率高、大带宽、低插损等优点。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690313 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202210440234.2 (22)申请日 2022.04.25 (71)申请人东南大学地址 211189