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本发明提供一种信息处理装置、信息处理系统以及部件订购方法，使用半导体制造装置的模拟模型来预探测应更换的半导体制造装置的部件，并订购该部件。信息处理装置使用半导体制造装置的模拟模型来执行对半导体制造装置正在执行的工艺状态的模拟，所述信息处理装置具有：物理传感器数据获取部，其获取在正在按照工艺参数执行工艺的半导体制造装置中测定出的物理传感器数据；模拟执行部，其按照工艺参数来执行使用模拟模型进行的模拟，并计算虚拟传感器数据；模拟结果判定部，其基于物理传感器数据与虚拟传感器数据的差异，来进行应更换的半导
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114676549 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202111543602.8
(22)申请日 2021.12.16
(30)优先权数据
2020-217801 202
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