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本发明属于光伏晶硅电池领域。一种检测炉管真空泵漏率方法，对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，拟合得到斜率为β的一条直线；将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0，待测真空泵漏率Q漏=Pstp*(β/γ0)，如果Q漏大于等于80
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113280986 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110414850.6
(22)申请日 2021.04.17
(71)申请人 山西潞安太阳能科技有限责任公司
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