超声换能器及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于北京
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超声换能器及其制造方法.pdf

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本发明提供一种超声换能器及其制造方法。该超声换能器，包括：依次层叠设置的基底层(101)，第一电极(104)、振膜层(102)、第二电极(105)、压电层(103)，第三电极(106)，其中，所述基底层(101)的靠近振膜层的一面上设置有凹槽，所述第一电极(104)填充于所述凹槽内，所述振膜层(102)上形成有空腔(107)，所述空腔(107)与所述第一电极(104)的位置相对应。进一步提高了超声换能器件的接收灵敏度，解决了现有超声换能器接收灵敏度受到超声波发射层影响的问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114682472 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202210309026.9 (22)申请日 2022.03.25 (71)申请人深圳市汇顶科技股份有限公司地址