一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法.pdf

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本发明涉及高集成光谱探测器件制造领域，具体涉及制备一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法。本发明提供的设计方式是：首先建立关于相对膜厚与变量的仿真模型，利用Mathcad15进行编程仿真，设计程序模拟热蒸发设备薄膜厚度分布，通过实验确定使用电子束热蒸发设备蒸发源的发射特性n；然后引入修正挡板函数，实现旋转球面蒸发系统的膜厚分布模拟，确定线性渐变滤光片所需要的初始修正挡板；最后使用石英晶振法监控膜厚，进行单层工艺试验优化出渐变线性滤光片的修正挡板。本发明通过仿真结合实验的方式，仅需3~4次即可获得符

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114676520 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202210282142.6 C23C 14/54 (2006.01) (22)申请日 2022.03.