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- 2023-05-15 发布于四川
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提供了用于EUV掩模版储备器的操作方法(400、410)、存储系统(300、600)和夹持设备(200、500)。用于存储EUV掩模版的所需空间被显著地减小，同时确保了用于所存储的EUV掩模版的高质量存储环境。本发明的另一方面提供用于存储EUV掩模版的储备器(700)。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114730139 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202080081752.9 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事
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