图像传感器及其形成方法.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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一种图像传感器及其形成方法,包括:提供半导体衬底;形成像素单元层,所述像素单元层位于所述半导体衬底的表面;在所述像素单元层的表面形成第一微透镜材料层;对所述第一微透镜材料层进行刻蚀,以在第一像素单元的表面形成第一微透镜;形成第二微透镜材料层,所述第二微透镜材料层覆盖所述像素单元层以及第一微透镜;对所述第二微透镜材料层进行刻蚀,以在第二像素单元的表面形成第二微透镜,以及在所述第一微透镜的表面形成补充微透镜;其中,所述第一微透镜材料层的折射率不等于第二微透镜材料层的折射率。本发明可以分别实现PDAF

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114725132 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110014163.5 (22)申请日 2021.01.06 (71)申请人 联合微电子中心有限责任公司 地址

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