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公开了一种YBCO靶材的制造方法及靶材模具，方法包括：采用固相反应法制备靶材粉料；将靶材粉料放置在靶材模具中后进行热烧结，以获得靶材；其中，所述靶材的致密度大于95％。本申请提供的YBCO靶材的制造方法及靶材模具，通过多次研磨及预烧结降低原材料颗粒度，以及通过放电等离子辅助热压烧结或冷压法制备的靶材，表面光滑、致密度达95％以上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116023127 A
(43)申请公布日 2023.04.28
(21)申请号 202211700069.6 C04B 35/626 (2006.01)
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