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- 2023-05-15 发布于四川
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提供一种输送基板的基板输送装置。基板输送装置包括：第1平面马达，其设于第1室，并具有排列着的线圈；第2平面马达，其设于与所述第1室连接的第2室，并具有排列着的线圈；一对输送单元，其在所述第1平面马达和/或所述第2平面马达上移动，并能够输送基板；以及控制部，其控制所述第1平面马达和所述第2平面马达的线圈的通电。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114731104 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202080080938.2 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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