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本发明公开了一种等离激元涡旋透镜及其制作方法和应用。在其制作方法过程中，同时考虑了等离激元涡旋透镜局域偏振分布以及全局位相分布，极大的调高了等离激元涡旋透镜的工作效率。本发明制作的等离激元涡旋透镜，在结构中心处产生的SPPs聚焦光斑的强度分别是纳米狭缝透镜和贝利位相透镜的近150倍和6倍。同时其聚焦光斑大小的测试结果与理论计算及数值模拟结果具有很好的一致性，实现了超分辨的聚焦。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115267956 A
(43)申请公布日 2022.11.01
(21)申请号 202210994186.1
(22)申请日 2022.08.18
(71)申请人 天津师范大学
地址 300387
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