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使用锁定放大器技术的重叠测量系统.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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使用锁定放大器技术的重叠测量系统.pdf

    检测系统(200)包括照射系统(210)、第一光学系统(232)、相位调制器(220)、锁定检测器(255)和函数发生器(230)。照射系统被配置为沿着照射路径传输照射束(218)。第一光学系统被配置为朝向衬底(202)上的衍射目标(204)传输照射束。第一光学系统还被配置为传输包括由衍射目标衍射的衍射级子束(222,224,226)的信号束。相位调制器被配置为基于参考信号来调制照射束或信号束。锁定检测器被配置为收集信号束并且基于信号束和参考信号来测量衍射目标的特性。函数发生器被配置为生成用于相

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730140 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080084120.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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