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本发明提供了一种放电腔的流道角度调节结构及其激光器，其中，放电腔的腔体内设置有导流罩、贯流风机和第一执行机构；所述导流罩包括主罩体和摆转罩板；所述摆转罩板面对贯流风机设置；摆转罩板内侧铰连接在所述主罩体上；第一执行机构用于驱动所述摆转罩板摆转，进而调节所述摆转罩板与所述贯流风机之间的间隙和夹角大小。本发明通过设置可调节的流道结构，可通过改变导流罩与贯流风机之间的间隙大小、以及导流罩自身部分外部轮廓来适应工作气体流速变化，从而实现降噪减振的良好效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116111429 A
(43)申请公布日 2023.05.12
(21)申请号 202111330620.8
(22)申请日 2021.11.11
(71)申请人 北京科益虹源光电技术有限公司
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