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清洗装置及清洗方法.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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清洗装置及清洗方法.pdf

    本发明公开了一种清洗装置及清洗方法，清洗装置包括壳体、承载台、清洗液喷嘴、供气单元、抽风单元以及气阀单元。壳体具有容置空间。承载台设置于壳体内并用以转动放置于承载台上的晶圆。清洗液喷嘴朝向承载台上的晶圆。供气单元设置于壳体内并用以朝向承载台抽送气体。抽风单元用以抽离承载台周遭的气体。气阀单元用以控制气体的气流量。借此，本发明的清洗装置，供气单元及气阀单元经由协同作用，以有效率地将清洗液喷嘴所喷出的清洗液抽离，进而避免清洗液回弹造成晶圆产生缺陷。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114724972 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110188736.6 (22)申请日 2021.02.19 (30)优先权数据

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