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本发明公开了一种基于双光路的微位移视觉测量装置与方法,其用于精密定位过程的测量。该装置包括成像系统支撑装置、精密定位滑台、双光路分光模块、工业相机、显微镜头、相机光源、标志板、标志图案、微位移定位平台等部分。两个相机在双光路分光模块的两个出光口处成正交布置,分别捕获定位过程中标志图案在X方向和Y方向的图像信号,同时每个相机减少冗余的像素显示,增加单位时间的视频采样频率,提高对精密定位过程测量的动态性能;同时利用X和Y两个方向的图像特征分别进行基于灰度信息的模板匹配,提高了视觉测量的测量范围;最后
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114719747 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210243471.X
(22)申请日 2022.03.11
(71)申请人 华南理工大学
地址 510640
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