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处理液供应装置以及处理液供应方法.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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处理液供应装置以及处理液供应方法.pdf

    本发明是处理液供应装置以及处理液供应方法，涉及如下方案：为了改善通过处理液的基板处理工艺中选择比，处理液供应单元在调整二氧化硅的供应量的同时混合处理液物质并基于基板处理条件调节处理液的浓度和温度后向基板处理装置供应，通过与所述处理液供应单元空间上分离的处理液再循环单元回收处理液并调节处理液的水分浓度和温度后供应再生处理液。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114724974 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110848339.7 (22)申请日 2021.07.27 (30)优先权数据 10-2020-0178505

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