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本发明提供了一种叠层式摩擦电压力传感器及其制备方法，属于摩擦纳米发电机技术领域。该叠层式摩擦电压力传感器包括：从上到下依次布置的第一电极层、第一摩擦材料层、介电层薄膜、第二电极层和第二摩擦材料层，所述介电层薄膜的一侧表面设有多个凸起的微型结构和围绕所有所述微型结构的环形凸条，所述微型结构用于降低所述介电层薄膜的弹性模量，所述第一摩擦材料层和所述介电层薄膜之间形成密封腔，且所述密封腔中封装有绝缘液体。本发明还提供了一种用于制备上述叠层式摩擦电压力传感器的制备方法。本发明的叠层式摩擦电压力传感器能够
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114739539 A
(43)申请公布日 2022.07.12
(21)申请号 202210367867.5
(22)申请日 2022.04.08
(71)申请人 苏州大学
地址 215123 江苏
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