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一种空气传播污染物管理的方法包括:通过对清洁室的环境进行采样来产生污染物分布图;通过将污染物分布图与第一数据库中的至少一个扩散图像进行比较来选择清洁室的第一制作工具;将第一制作工具的参数与第二数据库中的工艺效用信息进行比较;以及当参数与工艺效用信息一致时,采取至少一项措施。所述一项措施可包括:将清洁工具移动到与污染物分布图的污染物浓度相关联的位置;接通清洁工具的风扇;停止向第一制作工具的舱式运送;以及终止通过第一制作工具进行的生成。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114723213 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210042413.0 G06F 16/25 (2019.01)
(22)申请日 2022.01.
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