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防止垂直方向间隙粘连的MEMS器件及制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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防止垂直方向间隙粘连的MEMS器件及制造方法.pdf

    本发明公开了一种防止垂直方向间隙粘连的MEMS器件及制造方法，包括顺次相连的下层晶圆结构、可动晶圆结构和上层晶圆结构；所述下层晶圆结构包括相连的硅衬底和绝缘层，所述绝缘层上靠近可动晶圆结构的一侧设有第一锚点和检测电极；所述第一锚点通过弹性梁与所述可动晶圆结构相连；所述检测电极与所述可动晶圆结构之间设有间隙，且刻蚀有第一加工槽，第一加工槽内设有第一微支撑结构，所述第一微支撑的高度等于第一锚点的高度；所述可动晶圆结构上与第一微支撑结构相对应的位置处均刻蚀有贯通式的第二加工槽，用于实现第一微支撑结构与

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114715833 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210371604.1 B81C 1/00 (2006.01)

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