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2023-05-15 发布于北京
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本发明提供一种存储库，应用于半导体制造设备技术领域，包括：立库式的储库本体、地面对接口、洁净气体控制箱、空中对接口和移载机构，所述移载机构设置于所述储库本体的内部，所述移载机构用于对所述储库本体中的存储阁位进行晶圆盒取放操作。通过将地面对接口、空中对接口、洁净气体控制箱和移载机构部署于立库式的储库本体上，非常便于部署应于存储库，以及通过移载机构直接在储库本体内部对存储阁位进行晶圆盒取放操作，形成新型的存储库，非常方便晶圆盒在存储库与地面对接口、空中对接口之间交换晶圆盒。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114715588 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210618022.9 (22)申请日 2022.06.02 (71)申请人弥费实业（上海）有限公司地址 2