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本发明公开了一种沟槽碳化硅MPS二极管结构及制备方法,包括:碳化硅欧姆接触金属,碳化硅欧姆接触金属位于P+沟槽区上,碳化硅欧姆接触金属与沟槽配合;碳化硅肖特基接触金属,碳化硅肖特基接触金属位于碳化硅外延层及碳化硅欧姆接触金属上方并沟槽配合;碳化硅肖特基接触金属与碳化硅外延层界面肖特基接触区的沟槽配合结构能够有效增大肖特基接触区的面积,从而有效进一步降低器件的正向导通压降,增大器件的电流密度;而P+沟槽区与碳化硅欧姆接触金属界面欧姆接触区的沟槽沟槽配合结构增加了欧姆接触区域的面积,能够使器件在浪涌
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114725189 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210504538.0 H01L 21/329 (2006.01)
(22)申请日 2022.05
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