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本发明提供全光非线性调制的超表面衍射光计算器件及其制备方法，全光非线性调制的超表面衍射光计算器件包括层叠设置的光学衍射超表面、金属层、第一绝缘层、非线性二维材料层、第二绝缘层、等离子体激元和保护层，由此，本申请将光学衍射超表面与等离子体激元、非线性二维材料层进行复合，可以实现低功耗和低光学阈值的非线性光学吸收，应用于低功耗衍射光计算器件，可满足目前人工智能光计算芯片中非线性调制器件的需求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116027608 A
(43)申请公布日 2023.04.28
(21)申请号 202310309887.1
(22)申请日 2023.03.27
(71)申请人 清华大学
地址 100084
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