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本公开提供一种晶圆测试代码自动检测方法、装置、设备及介质，属于集成电路技术领域。该方法包括：通过程式模拟运行单元接收编译通过的晶圆测试代码，并利用启用离线模式的测试软件模拟运行晶圆测试代码；通过监控参数接口和检测单元提取晶圆测试代码在模拟运行过程中的待检测测试参数对应的运行参数值；通过检测单元生成结果文档，结果文档中包括待检测测试参数及其对应的运行参数值，以根据结果文档确定晶圆测试代码中的待检测测试参数的设定是否符合测试需求中的参数要求。本公开在上机测试验证前，提前检测出参数设定不合理的情况，提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116028365 A
(43)申请公布日 2023.04.28
(21)申请号 202310029654.6
(22)申请日 2023.01.09
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 23
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