喷洒装置及薄膜沉积设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.59万字
约 15页
2023-05-15 发布于四川
举报
版权申诉

喷洒装置及薄膜沉积设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明为一种喷洒装置及薄膜沉积设备，主要包括一第一输送管线、一第二输送管线、一扩散单元、一环形扩散单元。第一及第二输送管线连接扩散单元，分别将第一及第二前驱物输送至扩散单元的第一及第二进气管输送，使得第一及第二前驱物输送至扩散单元的下方。环形扩散单元设置在扩散单元的周围，并包括一第一环形输送管线及复数个第三进气管，其中第三进气管朝向扩散单元的下方，并用以将第二前驱物输送至扩散单元的下方。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116024551 A (43)申请公布日 2023.04.28 (21)申请号 202111256284.7 (22)申请日 2021.10.27 (71)申请人天虹科技股份有限公司地址中国