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本发明提供了一种氟制高纯六氟化钨产生的尾气的处理方法，该方法为：将电解氟化氢过程中产生的阴极气体氢气和氟制高纯六氟化钨过程中产生的尾气通入至反应器中，在温度为350℃～600℃的条件下进行还原反应，得到气体物质氟化氢粗品，并且沉积得到固体物质钨；将气体物质氟化氢粗品在真空排轻后，得到氟化氢和未发生还原反应的六氟化钨固体；将未发生还原反应的六氟化钨固体循环进入反应器继续进行还原反应，氟化氢进行回收，循环用于氟化氢电解制氟。本发明通过将含有六氟化钨的尾气还原得到氟化氢和钨，实现含有六氟化钨的尾气的循
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116020231 A
(43)申请公布日 2023.04.28
(21)申请号 202310264010.5 C01G 41/04 (2006.01)
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