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一种干膜光致抗蚀剂及其应用.pdfVIP

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  • 2023-05-16 发布于四川
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一种干膜光致抗蚀剂及其应用.pdf

    本发明公开了一种干膜光致抗蚀剂及其应用。这种干膜光致抗蚀剂包括以下质量份的组分：碱溶性丙烯酸树脂50～70份，光聚合单体20～50份，光引发剂0.1～3份，添加剂适量；其中，光聚合单体由含有苯硫醚的长链双丙烯酸酯和短链丙烯酸酯组成；短链丙烯酸酯为主链碳原子数≤16的丙烯酸酯。本发明还公开了这种干膜光致抗蚀剂在制备感光干膜和印刷电路板中的应用。应用本发明的干膜光致抗蚀剂制备感光干膜，具有感光速度快，分辨率高的优点，同时掩孔性能良好，市场前景十分广阔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111123647 A (43)申请公布日 2020.05.08 (21)申请号 20201

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