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一种超声波平面研磨机及研磨方法.pdfVIP

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  • 2023-05-16 发布于四川
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一种超声波平面研磨机及研磨方法.pdf

    本发明属于精密研磨技术领域，具体涉及一种超声波平面研磨机及研磨方法，所述研磨机包括工作台、真空吸盘以及超声波三联组，真空吸盘安装于工作台之上，并沿工作台在水平面内移动，真空吸盘用于承载待磨工件；超声波三联组包括自上而下依次布设的换能器、调幅器以及研磨头，调幅器安装于工作台之上，调幅器的两端分别连接换能器以及研磨头；通过真空吸盘沿工作台在水平面内往复运动，以使待磨工件与研磨头正对布设；同时换能器发出超声波，并通过调幅器传递至研磨头，以使研磨头对待磨工件进行研磨；本发明通过超声波高频振动对待磨工件进

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116000777 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202310041592.0 (22)申请日 2023.01.28 (71)申请人 上海骄成超声波技术股份有限公司 地

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