一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法.pdfVIP

下载本文档

15
0
约1.19万字
约 8页
2023-05-16 发布于四川
举报
版权申诉

一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种高纯氨基镓、铟、铝化合物的制备方法，属于半导体芯片技术领域，包括以下步骤：第一步、制备二甲基氨基锂正己烷悬浮液；第二步、制备三(二甲基氨基)镓二聚体粗品、三(二甲基氨基)铟二聚体粗品和三(二甲基氨基)铝二聚体粗品中一种；第三步、采用阶梯降温重结晶法纯化三(二甲基氨基)金属化合物粗品，得到高纯氨基镓、铟、铝化合物；本发明采用阶梯降温重结晶法纯化三(二甲基氨基)金属化合物粗品，不仅效率高且工艺简单，重结晶过程中产品结晶速度适中，不会形成杂质包裹，产品的晶形好，纯度≥99.9999％(

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116003459 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202310083071.1 (22)申请日 2023.02.08 (71)申请人安徽博泰电子材料有限公司地址