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本发明涉及一种受生物启发的超灵敏柔性压力传感器及其制备方法。对于该薄膜，纳米级的聚苯胺刺状阵列均匀地分布在微米级聚二甲基硅氧烷柱状阵列上。该结构能够在受到外力时发生两次互锁效应，从而在保证传感器使用量程的同时极大地提升灵敏度。制备方法包括的步骤有：（1）微米级聚二甲基硅氧烷柱状阵列的制备；（2）纳米级聚苯胺刺状阵列的制备；（3）组装基于层级聚苯胺/聚二甲基硅氧烷阵列的超灵敏压力传感器。本发明制得的产品具备超高灵敏度、超低检测限、迅速的响应时间、优异的循环稳定性、杰出的环境适应性，且制备方法简单、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114754906 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202210267149.0
(22)申请日 2022.03.18
(71)申请人 复旦大学
地址 200433 上海
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