一种选择蚀刻钨及氮化钛的蚀刻液.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种选择蚀刻钨及氮化钛的蚀刻液.pdf

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本发明涉及一种选择蚀刻钨及氮化钛的蚀刻液。在本发明中，双氧水，双氧水稳定剂，硝酸，有机酸，蚀刻抑制剂，表面活性剂和去离子水构成钨、氮化钛蚀刻液。在蚀刻液对钨及氮化钛蚀刻的过程中，能够保持稳定的蚀刻速率和较大的选择比。带有氨基基团的联吡啶可以降低双氧水分解速率，稳定蚀刻速率；蚀刻抑制剂可以和金属原子以配位键的形式强烈地吸附在氮化钛的表面，形成一层致密的薄膜，减缓对氮化钛的蚀刻；表面活性剂可以调节蚀刻液与不同金属表面的界面张力，增大两相的接触，提高介质传递速率，从而调节蚀刻液的选择比。本发明的蚀刻液

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113604803 A (43)申请公布日 2021.11.05 (21)申请号 202110770187.3 C09K 13/06 (2006.01) (22)申请日 2