一种碳化硅晶锭生长装置及方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种碳化硅晶锭生长装置及方法.pdf

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本发明公开了一种碳化硅晶锭生长装置，涉及碳化硅晶锭技术领域，包括筒体，筒体内设有加热内胆，筒体上部设有盖体；筒体上贯穿设有多个投料管，投料管的一端穿过加热内胆延伸至加热内胆的内部，并固定有坩埚；多个坩埚在加热内胆的内部排布呈倒立的堆型结构；每个投料管上连接有储料箱，储料箱与投料管之间设有投料机构；盖体的下方设有可旋转的碳化硅晶锭生长板，碳化硅晶锭生长板的上方设有冷却槽。本发明还提出了一种碳化硅晶锭生长的方法，通过碳化硅与掺杂物质之间升华的方式生长出碳化硅晶锭。本发明可使碳化硅与掺杂剂进行同步升华

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114737249 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210519335.9 (22)申请日 2022.05.13 (71)申请人安徽微芯长江半导体材料有限公司地址